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我们先把MEMS传感器做一个简单的介绍： MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控...

阅读全文 步嘉荣 2 次浏览 2025-10-08 科学